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晶體鑄錠爐(真空/壓力)
晶體鑄錠爐(真空/壓力)
產品描述:
晶體鑄錠爐(真空/壓力)主要用于晶體材料的鑄錠工藝。
應用范圍:
石英晶體、硅晶體及其他晶體

晶體鑄錠爐(真空/壓力)技術特征

采用特殊的爐膽結構和加熱器布置,爐溫均勻性好;

設置上下控溫,實現工藝溫度精密控制;

采用動密封技術,能精密控制坩堝移動;

采用先進的控制技術,能精密控制爐內壓力,爐膛內壓力波動小;

設備采用多級安全保護;

鎖圈采用液壓驅動,并配有機械限位,安全可靠;

爐門的開啟采用液壓手動或自動開啟,操作簡單;

具有超溫超壓等故障報警,機械式自動壓力保護,動作互鎖等功能,設備安全性高。

晶體鑄錠爐(真空/壓力)產品規格

型號/參數VIC-1252VIC-1807VIC-2007
工作區尺寸D×H(mm)φ1200×520φ1800×700φ2000×700
最高溫度(℃)1500-20001500-20001500-2000
溫度均勻性(℃)±5~±10±5~±10±5~±10
極限真空度(Pa)1-1001-1001-100
最高壓力(MPa)2-62-62-6
壓升率(pa/h)0.670.670.67
以上參數可根據工藝要求進行調整,不作為驗收依據,具體以技術方案和協議為準。

晶體鑄錠爐(真空/壓力)配置選擇

結構形式:上出料/下出料

爐門鎖緊方式:手動/自動

爐殼材質:內層不銹鋼/全碳鋼/全不銹鋼/壓力容器鋼材

保溫材質:碳纖維保溫材料/陶瓷保溫材料

加熱器:等靜壓石墨/金屬

熱電偶:C分度號(鎢套管/鉬套管/陶瓷套管)

紅外儀:單比色/雙比色

適于工藝氣氛:N2/Ar。

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